潔凈工作臺工作區域內的空氣含塵濃度應達到每升空氣中大于或等于0.5μm的粒子數少于或等于3.5粒, 不允許有大于或等于5μm的粒子 (符合百級, 即5級潔凈度的要求) 。工作臺應為由高效空氣過濾器等組成的凈化機組。 風速的檢測，風速的測量應在工作臺的空態下進行, 取離高效過濾器下游10cm、垂直于氣流處的截面為采樣截面, 在其上均勻取3個點作為測量點, 使用微風儀測量其風速, 每個點重復測量3次, 取其平均值作為平均風速。