對于粒徑大于或等于0.5μm的塵粒計數，宜采用光散射粒子計數法，也可采用濾膜顯微鏡計數法。光散射粒子計數法：1. 光散射粒子計數器采樣量100級：每次采樣量大于或等于1升。1,000級-10,000級：每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級：每次采樣量大于或等于0.1升。對于100級潔凈室，宜采用大流量粒子計數器進行測試；如果條件不具備時，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數器。2. 采樣注意事項：①采樣管必須干凈，連接處嚴禁滲漏。②采樣管的長度，應根據儀器的允許長度。當無規定時，不宜大于1.5米。③采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側。④采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。3. 測點布置：①檢測在潔凈工作區內進行。當生產工藝無特殊要求時，取樣高度宜為離地面1米。②層流潔凈室測點總數不小于20點，測點間距為0.5-2.0米，粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數允許有一個點超過。水平層流潔凈室測點僅布置在第一潔凈工作區內。③亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點（附圖2）。每增加20-50平方米，增加3-5個測點。4. 數據整理：①每個測點的數據整理應在測試儀器穩定運行的條件下連續三次采樣，取其平均值，即為該點的實測數值。②對于大于或等于0.5μm的塵粒數確定：層流潔凈室取各測定點最大值，亂流潔凈室取各測點的平均值。（四）正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。三、動態測試在潔凈工作區操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行，測試方法同空態、靜態測試。